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QSG1、 QSG2透 明 石 英 玻 璃 坩 埚 JC 179-81

本 标 准 适 用 于 半 导 体 工 业 拉 制 单 晶 用 的 透 明 石 英 玻 璃 坩 埚 。 半 导 体 用 透 明 石 英 玻 璃 坩 埚 有 QSG1高 纯 透 明 石 英 玻 璃 坩 埚 与 QSG2透 明 石 英 玻 璃 坩 埚 两 种 。

一 、 技 术 要 求

1、 物 理 、 化 学 性 能 指 标

1）化 学 成 分

a、 QSG1高 纯 透 明 石 英 玻 璃 坩 埚

铝 、 钙 、 镁 、 钛 、 铜 、 铁 、 钴 、 镍 、 锰 、 硼 、 钾 、 钠 、 锂 十 三 个 杂 质 元 素 的 总 含 量 不 得 大 于 0.001%。





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